國研院「研發服務平台亮點成果獎」 陽明交大曾銘綸團隊奪特優

【記者曹麗蕙台北報導】國家實驗研究院（國研院）徵選第五屆「研發服務平台亮點成果獎」今（9/23）舉行頒獎典禮，今年的特優獎由陽明交通大學電子研究所助理教授曾銘綸的研究團隊獲得，抱走獎金30萬元。其研究成果是「半導體超穎介面與矽光子、紫外光電及生醫檢測之應用」，所使用的研發服務平台是台灣半導體研究中心（半導體中心）的「超穎透鏡結構製程平台」。

國研院院長蔡宏營表示，現今新科技的研究越來越複雜而困難，許多前瞻的科技研究，都要依靠團隊合作，並以先進的軟硬體設備做為支撐，而這些正是國研院所建立各種研發服務平台的強項。國研院希望藉由評選頒發「研發服務平台亮點成果獎」，鼓勵國內學研界更踴躍與國研院合作，使用這些以國家力量建構的研發服務平台，做出具有全球競爭力的研發成果。

今年特優獎由陽明交大電子所助理教授曾銘綸團隊獲得。國研院表示，團隊證實矽在深紫外光（DUV）照射下，會展現出「表面極化子效應」（surface polariton），大幅增強光與物質之間的交互作用，是開發新一代紫外光譜檢測晶片的理想材料，可提供前瞻奈米材料之檢測分析與生醫檢測潛在應用。

此外，團隊另開發深紫外光氮化鋁超穎透鏡，可解析細微結構，並與東京大學合作，使用深紫外超快雷射製造出矽的微奈米結構，證實氮化鋁超穎透鏡於深紫外光電與工業應用之潛力。又開發可用於寬頻生醫檢測的鍺奈米光子晶片，已廣泛應用於生醫光譜與光電元件，且因此晶片之製程兼容於標準半導體製程，因此具有大量生產的潛力。

今年獲得優等獎的團隊有四支，分別由台灣大學土木工程學系特聘教授周中哲、中央研究院應用科學研究中心研究員包淳偉、清華大學奈米工程與微系統研究所清華講座教授李昇憲，以及成功大學物理學系教授張泰榕獲得。